真空係統在掃（sǎo）描電鏡中的應用，掃描電鏡被廣泛的應用在半導體、實驗室等領域。掃描電鏡也是借助高真空係統。電鏡的高真空係統是有分子泵和前級泵組成，分子泵一般采用脂潤滑或磁懸（xuán）浮的分子泵（bèng），前（qián）級泵是采用雙級油旋片真空泵，或無油渦旋泵（bèng）作（zuò）為前級泵（bèng）。前級泵是輔（fǔ）助分子泵運行的，前級泵先將腔體抽到10pa以後再啟動分子泵。分子泵啟動後再將（jiāng）係統抽到-3pa~-4pa左右。

掃描電子顯微（wēi）鏡，是自上世紀（jì）60年代作為商用電鏡（jìng）麵世以來迅速發展起來的一（yī）種新型的電子光學儀器，被廣泛地應用於化學、生物、醫學、冶金、材料、半導體製造、微電路檢查等各個研究領域和工（gōng）業部門。

在材料（liào）領域中，掃描電鏡技術（shù）發揮著極（jí）其重要的作用，被廣泛應用於各種材料（liào）的形態結構、界麵狀況、損傷機製及材料性能（néng）預測等方麵的研究。利用掃描電（diàn）鏡可以直接研究晶體缺陷（xiàn）及其（qí）產生（shēng）過程，可以觀察金屬材料內部原子的集結方式和它們的真實邊界，也可以觀察在（zài）不同條件下邊界移動的方式，還可以檢查晶體在表麵機械加工中（zhōng）引起的損（sǔn）傷和輻射（shè）損傷等。

真空係統在（zài）掃描電鏡（jìng）中具有什麽產品特點呢（ne）？

應用於掃描電（diàn）鏡（jìng）的真空係統具有製樣簡單、放大倍數可調範圍寬、圖像的分辨（biàn）率高、景深大、保真（zhēn）度高、有真實的三（sān）維效應等特（tè）點，對於導電材料（liào），可直接放入樣品室進行分析，對於（yú）導電性差或絕緣的樣品則需要噴（pēn）鍍導電層。

真空係統主要包括（kuò）真空泵和真空柱兩部分。真空柱是一個密封的柱形容器。真空（kōng）泵用來在真空柱內產生真空。有（yǒu）機械泵、油（yóu）擴散泵以及（jí）渦（wō）輪分子泵三大類，機械泵加油（yóu）擴散泵的組（zǔ）合可以滿足配（pèi）置鎢燈絲槍的掃描電鏡的真空要求（qiú），但對於裝置了場致發（fā）射槍或六硼化鑭及六（liù）硼化鈰槍的掃描電鏡，則需要機械泵加渦輪分子泵的組合。成象係統和電子束係統均內置在真空柱中。真空柱底端即為右圖所示的樣品室，用於放置樣品。

掃描電（diàn）鏡可粗略分為鏡體和電源電路係統兩部分。鏡體部分由電子光學係統（tǒng）、信號收集（jí）和顯示係統（tǒng）以及真空（kōng）抽氣係（xì）統組成。東莞真空係統的作（zuò）用是（shì）為保證電子光學係統正常工作，防止樣品汙染，一般情況下（xià）要求保持10-4~10-5Torr的（de）真空度。

掃（sǎo）描電鏡需要真空的原因包括：一是電（diàn）子束係統中的燈絲在普通大氣中會迅速氧化而失效，所以需要抽真空。二是為了增大電子的平均自由程，從而使得（dé）用於成象的電子更多（duō）。

普諾（nuò）克真空係統在掃描電鏡中的應用，能夠靠電子束掃描物體表麵來成像的。空氣的存在會使的（de）電子束變型，影（yǐng）響掃描效果，因此需（xū）要使用到真空係統抽真（zhēn）空。如果對91视频网站真空係統感興趣的話，都可以撥打我司的客戶熱線。