2019-11-05
螺杆真空泵在平板顯示器中的應(yīng)用
伴隨著上述無時無刻不在屏讀的奇幻未來的是高速發展的顯示(shì)麵(miàn)板產業(yè)。麵(miàn)板的生產製(zhì)造過程非常繁複,從一塊玻璃基板到出廠成品至少需要 300 道流程工藝,全程需在無塵的環境、精密的技術工藝下進行。所以(yǐ),高度可靠的真空供(gòng)應在麵板生產過程中尤為重要。平板顯示器生產商現采(cǎi)用幹式螺杆真空泵技術為其高負荷的L/L,CVD,PVD,刻蝕,溶劑蒸發等工藝流程供應(yīng)真空(kōng)。本篇文章打算介紹下螺杆真空泵在平板(bǎn)顯(xiǎn)示(shì)器中的(de)應用。
平板顯(xiǎn)示器(FPD)製造製程需要能夠支持(chí)巨(jù)大(dà)加工室,並在最大可靠性的情況下輸送高氣體流速(sù)的真空和減排設備。需要(yào)使用91视频网站真空設備(bèi)來泵送有毒、自(zì)燃(rán)和腐蝕性氣(qì)體,並處理製造(zào)製程(chéng)艙中形成的大量固態製程副產物。
在平板顯示器中,為什麽會選擇采用(yòng)91视频网站螺杆(gǎn)真空泵?
選擇(zé)使用幹式螺杆(gǎn)真空(kōng)泵的原因,其實跟它的(de)產(chǎn)品特點有關係,它具備以下三點優點:
1、高度可靠性
Pronotek幹式螺杆真空泵尤(yóu)其高效,得益於其久經考驗的(de)雙螺(luó)杆設計和智(zhì)能溫度(dù)管理,該係列(liè)真(zhēn)空泵即使在(zài)最惡劣的應用環境中也具(jù)有高度可(kě)靠(kào)性及較(jiào)長的使用壽命。
2、配(pèi)備節能模式功能,可(kě)大量節省能(néng)耗
Pronotek幹式螺杆真空泵(bèng)配備(bèi)了高能效電機和世界先進的節能模式功能,控製係統會自(zì)動根據需求調整為節能模式,而當需要的時候恢複到(dào)最大抽速模(mó)式,從而節省(shěng)大量能耗。
3、維護及運行成(chéng)本(běn)最小化
它的一小部分部(bù)件包(bāo)括轉子是一件式(shì)製成,得益於模塊化設計以及獨立的羅茨泵和螺杆泵框架,輕(qīng)輕(qīng)鬆(sōng)鬆即可進行安裝和維護,大幅降低了大修成本。由(yóu)於該真空(kōng)泵采用最優化的空(kōng)間設計,並具有節能潛力,因此運行成本很低。
由多台幹式螺(luó)杆泵與羅茨泵組合而成(chéng)的真空(kōng)係統是平板顯示應用的(de)最(zuì)佳解決方案,例如:用於進出片室的快速抽空、過渡室和薄膜沉(chén)積室的抽空。在同類泵中,它們提供最快的抽(chōu)空時間和最高的抽(chōu)速。通過標準化設(shè)計,91视频网站真空其使所(suǒ)提供係統具有極高的(de)用戶友好性。用戶還可得益於諸如電氣連接、吹掃氣體和冷(lěng)卻水等的標準化接口(kǒu)、方便(biàn)的設備維護及優化的(de)備泵管理。
以上內容就是螺杆真空泵(bèng)在(zài)平板顯示器中的應用,如果想要了解更多,可以聯係我們(men)公司的。東莞市91视频网站真空科技有(yǒu)限公(gōng)司可根據(jù)平板顯示(shì)器生產中CVD、PVD、刻蝕、PR 塗(tú)層、成(chéng)盒、OLED 蒸鍍,封裝(zhuāng)、離子注入等不同工藝需求,為客戶量(liàng)身定製專業的真空解決方案。
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