真空（kōng）泵廠家（jiā）分析真空壓力控（kòng）製係統如（rú）何優化（huà）。芯片的刻蝕工（gōng）藝通常要在一個受控的真空環境下工作，反應腔的功能是在真空環境中保持工藝參數需要的壓力，去除不需（xū）要（yào）的水汽、空氣和附加反應物；創建一個能夠使等離（lí）子體發（fā）生（shēng）反應的真空環境。為了降低刻蝕機真（zhēn）空壓力控製係統的成本，實現高真空獲得（dé）設備（bèi）的清潔化、簡單化和微型化，同時為了提高（gāo）真空係統的抽氣速率和極（jí）限真空，係統中的腔、真空泵以及連接管路和閥門的選配是（shì）很重要的。

刻蝕機為了保證刻蝕工藝（yì）需要的穩定工作壓力，大抽速真空（kōng）係統（tǒng）是必不可少的組成部分。91视频网站真空泵廠家詳細地介紹反應腔、真空泵（bèng）的選擇、真空閥門的選配、真空計和真空檢測開關、真（zhēn）空計和真空檢測開關和連接管路。

真空泵廠家分析真空壓力控製係統如何優化？要從以下五個方麵展開（kāi）：

⑴反應腔（qiāng）

反應腔是真空係統的基本部件，不同刻蝕的反應腔形狀和大小不同（tóng），但都（dōu）屬於受負壓的容（róng）器。為了增加芯片產能（néng）的需要反應腔（qiāng）采用的是多工位設計，這就需要真空泵（bèng）的抽速滿足其要求。多工位設（shè）計（jì）要保證多個工位芯片的均勻性是很難的（de）。必須加大真空泵的（de）抽氣速（sù）率，分子泵是最好（hǎo）的選擇。根據不同工藝的（de）需要，反應腔的（de）工作壓力（lì）一般在10^-3-10^-2Torr之間，既要保證反應腔的真空度，又要保證工藝氣體（tǐ）的壓力，確保反應腔工作在（zài）真空穩定的狀態下，這一直是真空泵廠家研究的課題。

⑵真空（kōng）泵的選擇

真空泵是獲（huò）得真空的（de）關鍵設備（bèi），至今還沒有一種泵能（néng）從（cóng）大氣壓一直工作到接近超真空，必（bì）須兩種或以上的（de）泵聯合使用，螺杆式幹（gàn）泵屬於容積（jī）泵（bèng）類型，其工作（zuò）循環可分為吸氣、壓縮和排氣三個過程，其優點是結構穩定，重心低，轉（zhuǎn）動平穩，振（zhèn）動小，噪音小。分子（zǐ）泵有牽引分子泵、渦輪分子泵和複合式分子泵等，分子泵的選型根據刻蝕反應（yīng）腔壓（yā）力和容積的不（bú）同而不同。

⑶真空閥門的選配（pèi）

選擇鍾擺閥是（shì）為了配合分子泵大口徑（jìng）尺寸的需要（yào），鍾擺閥的開度大反應腔的壓力就減小，但是當開度大到一定程度時，由於泵的抽速有限（xiàn），反應腔的真空就被限（xiàn）製住了，真空壓力就不能繼續減小。所以要選（xuǎn）擇鍾擺閥適合的工作開度，以滿足刻蝕工藝工作壓力的（de）要求。

⑷真空計和真空（kōng）檢測開關

真空計能時刻監控反應腔和管路的壓力，在反應腔（qiāng）和管路上設置真空計，當真空度達到一定值時，開（kāi）啟或關閉真空閥門。真空計的分類主要有兩種方法：①按（àn）真（zhēn）計讀數的刻度方法（fǎ）進行分類，即絕對真空計和相對真空計；②按真空計測量（liàng）原理（lǐ）進行分類，即（jí）直接測量真空計和間接測量真空計。薄（báo）膜式電容真空計是間接測量的絕對（duì）真空計，由於具有性能穩定，重複性好（hǎo），而且其響應速度快，抗過載（zǎi）能力強，結構牢固，使用方便的特點，因此被業界廣泛應用（yòng）。為了安全考慮，真空管路必須設置大氣真空開關，當壓力值達到一個大氣壓時真空開關自動打開排氣，保護反應腔和（hé）管路（lù）係統的（de）真空儀器。

⑸連接管

真空係（xì）統最重要的性能參數是其所能獲得的極限真空度和對反應腔的有效抽速，真空係統的極限真空度是指在沒有外加負荷的情況下，經過足夠長時間的抽氣後，係統所能（néng）達的（de）最低壓力。

進口真空泵廠家表示（shì）任何真空係統絕對不漏（lòu）的現象（xiàng）是不可能的，所以（yǐ）真空管（guǎn）路上需（xū）要（yào）設置檢漏（lòu）口，方便進行真空檢漏（lòu）。