氦質譜檢漏技（jì）術是真空檢漏領域裏不可缺（quē）少的（de）一種技術，由於檢漏效率高，簡便易操作，儀器反應靈敏，精（jīng）度高，不易受其他氣體的幹擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應用。氦質譜檢漏儀的真空係統是由哪些設備組合而成的呢？氦質譜檢漏儀的（de）分類和正確的保（bǎo）養方法都是本篇文章重點（diǎn）介（jiè）紹的內（nèi）容，當（dāng）然，還要給大家闡述下真空係統在（zài）氦質譜（pǔ）檢漏（lòu）儀中的應用情（qíng）況。

氮質譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用於檢漏的儀器，由離子源、分（fèn）析器、收集器、冷陰極電離規組成的質（zhì）譜室和抽氣係統及電氣部分等組成。其分類有：①單級磁偏轉型氦質譜檢漏儀，②雙級串聯磁偏轉型氦質譜檢漏儀，③逆流氦質譜檢漏儀這三種。

氦質（zhì）譜檢漏（lòu）儀的優勢特點

1.采用便（biàn）攜（xié）式設計

2.設備外型美觀小巧

3.采用液晶觸摸屏設計（jì）

4.有通訊接口

5.可以方便地將檢漏數據輸出

關於真（zhēn）空（kōng）係統在氦質譜檢（jiǎn）漏儀中的應用情況，由東莞（wǎn）市普（pǔ）諾克真空科（kē）技有限（xiàn）公司進行整理。

氦質譜檢漏儀的真空係統部分由分子泵（bèng）、前級機械泵組（zǔ）成。

91视频网站真空係統的（de）特點為：

1.低（dī）噪音、低振動（dòng）。

2.空氣冷卻，方便容易。

3.在高溫環境下仍良好運作。

4.在低真空壓力下仍保持良好（hǎo）抽氣速（sù）度。

5.內置濾心和過濾（lǜ）器，可達高度過濾效果。

6.內置單向閥門，防止真空油逆流。

7.結（jié）構簡單，體積小，節省（shěng）空（kōng）間。

8.多功能概念，可配合客戶的特別（bié）配置。

9.容易保養。

在常規檢測（cè）時通常由前級機械泵對被檢件預抽真空，當真空度達（dá）到一定壓（yā）力後，再進入真空係（xì）統部分；被檢件在檢（jiǎn）測前會（huì）被要求進行清潔前處（chù）理（lǐ），以防止粉塵、顆粒物等汙染物進入真空係統；否則將直（zhí）接汙染真空係統，甚至造成真空泵損（sǔn）壞；所以被檢件的清潔前處理（lǐ）及對（duì）設備自身（shēn）定期的保養清理尤為重要。

設（shè）備自身保養小知識

（1）前級真空泵的定期換油及深度保養；

（2）電（diàn）磁閥組的超聲清洗；

（3）質譜模塊組件的超（chāo）聲清洗以及分（fèn）子泵的定期保養維護。

東莞（wǎn）91视频网站真空科技有限公司專注於真空行業，是一家集設計、研發、產銷為一體的真空設備專業性企業。本（běn）公司專（zhuān）業從事中央真空係統設計及安裝、真空（kōng）係統控製、真空負壓係統及（jí）各類真空應用設備。91视频网站擁有（yǒu）專業的技術人才和檢測設備（bèi），為各行業提供適用的真空係統設計和安裝，並針對個案設計，量身定造，為企業解決眾多真空應用方麵的難題，深受用戶歡迎。