根據（jù）現（xiàn）在最常用的矽單晶直拉法減（jiǎn）壓拉晶工藝，真空係統一般（bān）都（dōu）配備滑閥式真空泵。但隨著（zhe）大直徑、重摻雜等特殊要求的矽單晶需求量（liàng）的增加，對單晶（jīng）爐設備的要求也越來越高，采用滑閥式真空泵的缺點也日益顯現。為了提高生產效率，降低成本，也為了保證器件參數的一致性、可靠性（xìng），都希望直拉單晶大直徑化，設備控（kòng）製高度（dù）自動化，從抽空到拉晶結束（shù）全部自動化控製，且穩定性、可（kě）靠（kào）性（xìng）極好的大型直拉單晶設（shè）備。為了提（tí）高（gāo）單晶的內（nèi）在質量或者某（mǒu）方麵參數的（de）特殊要求，91视频网站（kè）通過改造真空係統（tǒng），將水環式真空泵應用在直拉單晶爐設備上，以提高直拉單晶爐的整體（tǐ）性能。下麵跟著小編（biān）一起來了解改造好的真空係統在直拉單（dān）晶爐上的（de）應用有什（shí）麽變化吧。

直拉單晶爐，包括爐體（tǐ），爐體包括（kuò）爐座和爐腔，爐腔設置在爐（lú）座上，爐（lú）體內設有加熱（rè）裝置和直拉成型（xíng）裝置，加熱（rè）裝置包括石英坩（gān）堝（guō）、石墨（mò）坩（gān）堝、加（jiā）熱器和石墨電極，石墨坩堝包裹（guǒ）在石英坩堝的（de）外側，加熱器設置在石墨坩（gān）堝的外（wài）側，石墨電極設置在加熱器的底端，直拉成型裝置包括豎（shù）直設置的籽晶軸和坩（gān）堝軸，籽晶軸設置（zhì）在石英坩堝的上方，坩堝軸設置（zhì）在石英坩堝的底部，籽晶軸的上方設有與籽晶軸相（xiàng）連接（jiē）的籽晶軸驅動裝置，坩堝軸（zhóu）的底部設有坩堝軸驅動裝置。

滑（huá）閥泵是用油來保持密封的機械（xiè）真空泵的，由（yóu）於它的滑閥環與泵腔有一定間隙，兩者不接觸，可抽含有微小塵埃的氣體。在（zài）單晶正常生長過程中，滑（huá）閥泵將會帶走由於高溫而產生出來（lái）的矽氧化物和雜質揮發物，這（zhè）些雜質大（dà）部分會進入泵腔（qiāng），與真空泵油混合在一起。由（yóu）於矽單晶生（shēng）長時（shí）間比較漫長，特別是大直徑的矽單晶生長時間更長，隨著（zhe）時間的增加，真空泵油裏的雜（zá）質（zhì）也越積越（yuè）多，從而使（shǐ）真空泵油的黏（nián）稠度也越來越大（dà），導（dǎo）致真空泵負荷增（zēng）大（dà），抽速下降，嚴重（chóng）的會造成真空泵不能正常工作。因此需要定期更換真空泵（bèng）油，這樣做還可延長真空泵壽命。但頻繁的更換真（zhēn）空泵油，不但維護費用高（gāo）而且在一個拉晶工藝過程中是（shì）無法（fǎ）實現的。特別是在拉重摻砷等劇毒摻雜元素的矽單晶時，有一部（bù）分砷等劇毒元素融入（rù）真空泵（bèng）油中，使得真空泵的維護更加困難，含（hán）有砷等劇毒摻雜元素的真空泵油處理是件很棘（jí）手的（de）事。

針對上述的問題，改進後的真空係統在直拉（lā）單（dān）晶爐上的應用，既可以使用水（shuǐ）環泵作為主泵，也可當旁路真空球閥關閉的時候，使用滑閥泵作為主泵，滿足不同拉晶工藝的需要。當使用（yòng）水環泵作為主泵時，正常（cháng）拉晶產生的矽氧化物和雜（zá）質揮發物都被抽到了水環泵裏（lǐ），溶於水環泵的水中，水環泵的水不斷地循環（huán）更新，確保了水（shuǐ）的（de）清潔，使得水環泵能正常工作，不會因為拉晶（jīng）時間太長，影響水環泵的工作性能，從而維持正常抽速，保證爐膛內（nèi）的真空度穩定。排出的水經過處理還可以重複（fù）使用，這樣不但維護方便而且費用低，特別是拉（lā）重摻砷等劇毒摻（chān）雜元素的矽單晶時，砷等（děng）劇毒（dú）摻雜元素融入水中後比較容易被分離（lí）收集，減少對（duì）環境影響。