東莞市普諾（nuò）克真空科（kē）技有限公司旗下的旋（xuán）片真空泵以清潔無汙染，而且擁有較寬的抽速範圍（wéi）以及良好的（de）節能（néng）、穩定、易維護等優勢廣泛應用（yòng）於半導體行業（yè），半導體工藝用真空主要用在蒸發，濺射（shè），PECVD，真空幹法刻蝕， 真空吸附，測試（shì）設備（bèi），真空清掃等（děng）等鍵合工序（xù），今天91视频网站的技術人員來給（gěi）大家普及一下旋片（piàn）真空泵在半導（dǎo）體工藝中的應（yīng）用不可忽視（shì）的安全問題。

半導體材料可以分為元素半導體和化合物半導體兩大類（lèi），元素半導體指（zhǐ）矽、鍺單一（yī）元（yuán）素形成的半導體，化合物指砷化镓、磷化銦（yīn）等化合物形成的半導體。砷化镓的電子遷移速率比矽高5.7倍，非常適合用（yòng）於高頻電路。

半導體生（shēng）產製造（zào）過程中容易產生易燃易爆以及有毒的物質氣體（tǐ），會對生產及人員安全造成威脅，因此，旋（xuán）片真空泵在半導體工藝中的應（yīng）用時需要注意的幾個安全（quán）事項主要有以下幾點內容：

1、定期清洗旋片真空泵及其他附件、過濾、管道，避免超壓；

德國旋片真空泵在（zài）半導體中應（yīng）用時，抽取介質（zhì）過程中經過反應室與真空泵，其成分可能極為複雜，如SiH4與O2在泵口形（xíng）成SiO2，TiCl4水解會形（xíng）成HCl；假設是油封式機械泵，這些氣體物質還可能與泵油發生化反。這些變化（huà）假設形成顆粒、可凝物或者腐蝕性介質，就可能堵塞真空泵或管路係統，影響真空泵（bèng）性能，造成（chéng）壓力上升或超壓，第一點中提到的危險性也更大（dà）。所以需要及時（shí）的清洗，並在必要的時候設置過濾設（shè）備。

2、有效稀釋有害（hài）氣體的濃度；

半導體易產生前麵所說的易燃易爆、有毒的有害氣（qì）體。所以半導體用真空泵應用過程中，在抽取這些介質時就必須防止它們在真空泵內或者排氣過程中發生一些不可（kě）控的反應。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物質，在（zài）與空氣或氧接觸的時候，會引起燃燒甚至爆炸；氫氣（qì）在空氣中的混合比例達到一定程度與溫（wēn）度時也會發生燃燒。這些都取決於該物質的量以及與環境的（de）壓（yā）力、溫度的關係。因此半導體真空泵在抽取這些介質時（shí），需要用氮氣之類的惰（duò）性氣（qì）體，在壓縮前（qián）即將（jiāng）這些氣（qì）體稀釋到當時條件下（xià）的安全範圍。

3、注意氧氣的濃度；

空（kōng）氣中的氧如果濃度過（guò）高也會發生燃燒及爆炸風險。所以一些情況下（xià）需注意氧的濃度，采（cǎi）用惰（duò）性氣（qì）體來稀釋，防止濃度過高；假設是油封機械泵可能還需要采用一些惰性的（de）與（yǔ）氧相容（róng）的真空泵油，並及時更換（huàn）油濾和油品。

4、防止溫度過高；

半導體在真空泵的應用中，有害氣體比較多，而無論是幹式真空泵還是油封機械泵，泵腔內溫度過高，高溫下易燃易（yì）爆及（jí）有毒氣體就會容易發生危險。

以（yǐ）上四個方麵就是旋片（piàn）真空泵在半（bàn）導體（tǐ）工（gōng）藝中的應用過程中最主要的幾個安全事項，我們一定不可忽視，技術人員說小問題對運轉、產量、效率和安全都有聯係，如（rú）果想（xiǎng）要工作更加的順利，我們應該延長真空泵的使用壽命，努力協調平衡，保證效率與安全（quán）。